🏷️ Hộp van phân phối khí Carten Controls VMBS và van màng SPDS/SPDSA

Được cung cấp bởi Ngọc Huy Dương – Đơn vị chuyên cung cấp thiết bị công nghiệp tại Việt Nam.

🌐 www.ngochuyduong.com | ☎️ 0909 399 174 | ✉️ thach.phan@ngochuyduong.com

📌 Giới thiệu tổng quan về Carten Controls VMBS và SPDS/SPDSA

Carten Controls Valve Manifold Boxes (VMBS) và SPDS/SPDSA Diaphragm Valves là hai nhóm sản phẩm phục vụ hệ thống phân phối khí tinh khiết cao và siêu tinh khiết trong ngành bán dẫn.

Hộp van phân phối khí VMBS được thiết kế để kiểm soát việc phân phối khí công nghệ đến nhiều thiết bị sản xuất. Hệ thống có thể giảm áp suất khí từ tủ khí hoặc bảng phân phối, chia tuyến khí đến các thiết bị riêng biệt, đo áp suất và cung cấp điểm ngắt an toàn tập trung. Carten Controls cũng cung cấp giải pháp hộp có thông gió, được chế tạo theo yêu cầu và có thể kiểm tra, xác nhận trước khi bàn giao.

Van màng SPDS/SPDSA là dòng van dùng để đóng, mở và kiểm soát dòng khí trong các hệ thống yêu cầu độ tinh khiết cao. Theo thông tin của hãng, dòng SPDS có kích thước đường dẫn lên đến 1 inch, sử dụng thân thép không gỉ 316L và màng van Elgiloy. Van có lựa chọn điều khiển bằng tay hoặc khí nén, cùng các cấu hình nhiều cổng và khối van theo yêu cầu.

Hai nhóm sản phẩm có thể được ứng dụng trong cùng một hệ thống: VMBS đảm nhiệm việc phân phối và kiểm soát khí ở cấp cụm, trong khi van SPDS/SPDSA đảm nhiệm chức năng đóng mở tại các vị trí được thiết kế. Việc lựa chọn cụ thể cần căn cứ vào sơ đồ khí, áp suất vận hành, lưu lượng và yêu cầu an toàn của nhà máy.

⚙️ Tính năng kỹ thuật nổi bật

1. Hộp van phân phối khí Carten Controls VMBS

• Phân phối khí đến nhiều thiết bị: Kiểm soát việc chia các tuyến khí công nghệ đến nhiều máy hoặc công cụ sản xuất bán dẫn.
• Giảm áp suất khí: Hỗ trợ giảm áp từ tủ khí hoặc bảng phân phối trước khi cấp đến thiết bị sử dụng.
• Đo áp suất có kiểm soát: Hỗ trợ bố trí các tuyến khí chia nhánh và điểm đo áp suất theo cấu hình hệ thống.
• Ngắt an toàn tập trung: Cho phép bố trí một điểm ngắt an toàn chung theo yêu cầu thiết kế.
• Vỏ hộp có thông gió: Thiết kế vỏ theo yêu cầu, hỗ trợ phương án thoát khí phù hợp với công trình.
• Lắp ráp và kiểm tra theo dự án: Có thể tích hợp linh kiện, lắp ráp cơ khí và thực hiện kiểm tra nghiệm thu tại nhà máy (FAT) hoặc xác nhận theo yêu cầu.
• Linh hoạt về linh kiện: Có thể sử dụng linh kiện Carten Controls hoặc linh kiện của nhà cung cấp khác theo cấu hình đã thống nhất.

2. Van màng Carten Controls SPDS/SPDSA

• Kích thước đường dẫn lên đến 1 inch: Phục vụ nhiều cấu hình đường khí trong hệ thống bán dẫn.
• Làm kín bên ngoài bằng kim loại: Hỗ trợ yêu cầu ngăn rò rỉ và duy trì độ tinh khiết của khí.
• Điều khiển bằng tay hoặc khí nén: Cho phép lựa chọn cách vận hành phù hợp với thiết kế hệ thống.
• Nhiều cổng và khối van: Có các lựa chọn cấu hình tiêu chuẩn hoặc thiết kế riêng.
• Thiết kế giảm thể tích lưu giữ: Ghế van PCTFE tiêu chuẩn được mô tả là có thể tích nhỏ, phù hợp với hệ thống khí tinh khiết cao.
• Tùy chọn điều khiển: Có thể lựa chọn cấu hình khóa an toàn LOTO; các tùy chọn cảm biến vị trí và điều khiển bằng van điện từ áp dụng cho phiên bản khí nén theo thông tin của hãng.

Các đặc điểm trên là thông tin cấp dòng sản phẩm; thông số của từng mã và cấu hình cần được xác nhận trước khi đặt hàng.

📋 Thông số kỹ thuật tham khảo

Hạng mục	VMBS	SPDS/SPDSA
Chức năng	Phân phối, chia tuyến và kiểm soát khí	Đóng mở, kiểm soát dòng khí
Ứng dụng chính	Hệ thống khí cho nhà máy bán dẫn	Đường khí tinh khiết cao và siêu tinh khiết
Vật liệu phần tiếp xúc khí	Thép không gỉ 316L	Thân thép không gỉ 316L
Vật liệu màng van	Tùy van tích hợp	Elgiloy
Vật liệu ghế van	PCTFE tiêu chuẩn ở các van tương ứng	PCTFE tiêu chuẩn
Đường ống	Ống và đầu nối UHP	Kích thước đường dẫn lên đến 1 inch
Áp suất vận hành tối đa được công bố	375 PSI	Thủ công tối đa 375 PSI; khí nén tối đa 250 PSI
Kiểm tra rò rỉ	Kiểm tra bằng khối phổ kế đến 1 × 10⁻⁹ scc/s trong điều kiện chân không	Kiểm tra bằng khối phổ kế đến 1 × 10⁻⁹ scc/s trong điều kiện chân không và 1 × 10⁻⁶ scc/s trong điều kiện áp suất
Độ sạch	Van trong cụm được sản xuất trong phòng sạch ISO Class 4	Sản xuất trong phòng sạch ISO Class 4
Độ nhám bề mặt	Nhỏ hơn 10 Ra micro-inch	Nhỏ hơn 10 Ra micro-inch
Mức thoát khí O₂/H₂O	Dưới 10 ppb	Dưới 10 ppb
Tùy chọn	Vỏ chống động đất, thiết kế thoát khí, tích hợp linh kiện, hiệu chuẩn MFC theo yêu cầu	Điều khiển tay hoặc khí nén, LOTO, cảm biến vị trí và van điện từ cho cấu hình phù hợp

Lưu ý: Đây là thông số tham khảo được hãng công bố cho các nhóm sản phẩm và linh kiện liên quan, không thay thế bảng dữ liệu của một mã cụ thể. Áp suất tối đa của toàn bộ cụm VMBS còn phụ thuộc vào van, bộ điều áp, đầu nối và cấu hình được tích hợp.

Carten Controls UPC

Carten Controls DPC

Carten Controls UPV

Carten Controls DPV

Carten Controls UPCL

Carten Controls DPCL

Carten Controls HB 751

Carten Controls HB 1000

Carten Controls HB 1501

Carten Controls HB 1500

Carten Controls HB 1502

Carten Controls HB 2000

Carten Controls HB 2502

Carten Controls HB 3002

Carten Controls HB 3004

Carten Controls HB 4000

Carten Controls HB 6004

Carten Controls GBA 500

Carten Controls HBA 751

🧱 Vật liệu và yêu cầu độ sạch

Đối với hệ thống khí siêu tinh khiết, vật liệu tiếp xúc với khí và quy trình làm sạch ảnh hưởng trực tiếp đến khả năng kiểm soát tạp chất.

Carten Controls công bố VMBS sử dụng ống, đầu nối UHP và các bộ phận tiếp xúc với khí bằng thép không gỉ 316L. Van SPDS/SPDSA có thân thép không gỉ 316L, màng Elgiloy và ghế van PCTFE tiêu chuẩn. Việc lựa chọn vật liệu cụ thể cần phù hợp với loại khí và điều kiện vận hành.

Theo thông số công bố, các van trong cụm VMBS được sản xuất trong phòng sạch ISO Class 4. Dòng SPDS/SPDSA cũng được sản xuất trong môi trường phòng sạch này, làm sạch bằng nước khử ion và sấy bằng lò. Hãng nêu mức phát sinh hạt bằng không ở kích thước 0,1 µm trong điều kiện tĩnh, mức thoát khí O₂/H₂O dưới 10 ppb và độ nhám bề mặt nhỏ hơn 10 Ra micro-inch.

Đối với dự án yêu cầu kiểm soát độ sạch nghiêm ngặt, nên xác nhận thêm hồ sơ vật liệu, quy trình làm sạch, phương pháp thử rò rỉ và tiêu chuẩn nghiệm thu của cấu hình được đặt hàng.

🔁 Tương thích – Thay thế – Mở rộng

VMBS và SPDS/SPDSA có thể được lựa chọn để xây dựng hoặc mở rộng hệ thống phân phối khí cho nhà máy bán dẫn.

• Tích hợp van màng: SPDS/SPDSA có thể được sử dụng trong hộp van phân phối khí, bảng phân phối khí và các tuyến cấp khí đến thiết bị.
• Chia tuyến khí: VMBS hỗ trợ phân chia đường khí đến nhiều thiết bị, phù hợp với hệ thống có nhiều điểm sử dụng.
• Kết hợp thiết bị điều áp: Có thể tích hợp bộ điều áp và thiết bị đo áp suất theo thiết kế của hệ thống.
• Tùy chọn điều khiển: Van SPDS/SPDSA có lựa chọn vận hành bằng tay hoặc khí nén; cấu hình cụ thể cần xác nhận theo mã van.
• Tùy chỉnh cụm van: VMBS có thể tích hợp linh kiện Carten Controls hoặc linh kiện bên thứ ba theo yêu cầu dự án.

Khi thay thế hoặc mở rộng, cần kiểm tra loại khí, áp suất đầu vào và đầu ra, lưu lượng yêu cầu, kích thước kết nối, vật liệu làm kín và phương án ngắt an toàn. Không nên lựa chọn chỉ dựa trên kích thước đường ống hoặc áp suất tối đa danh nghĩa.

🎯 Ứng dụng thực tế

Hộp van phân phối khí VMBS

• Giảm áp khí từ tủ khí và bảng phân phối trong nhà máy bán dẫn.
• Phân phối khí công nghệ đến nhiều thiết bị sản xuất.
• Chia tuyến khí có kiểm soát đến từng máy hoặc công cụ.
• Tích hợp điểm ngắt an toàn tập trung.
• Ứng dụng trong các hệ thống trộn khí siêu tinh khiết và hệ thống cần kiểm soát rò rỉ.

Van màng SPDS/SPDSA

• Đóng mở đường khí tại điểm kết nối thiết bị.
• Kiểm soát khí siêu tinh khiết tại điểm sử dụng.
• Tích hợp vào hộp van phân phối khí VMB và bảng phân phối khí.
• Sử dụng trong các tuyến khí kết nối thiết bị công nghệ.
• Phục vụ các ứng dụng cần độ kín, độ sạch và khả năng kiểm soát dòng khí ổn định.

💡 Tại sao nên mua thiết bị Carten Controls tại Ngọc Huy Dương?

Ngọc Huy Dương hỗ trợ khách hàng tìm hiểu và lựa chọn thiết bị công nghiệp theo nhu cầu thực tế của hệ thống.

• Hỗ trợ tra cứu dòng sản phẩm và mã thiết bị.
• Tiếp nhận yêu cầu về bản vẽ, thông số và cấu hình lắp đặt.
• Hỗ trợ đối chiếu áp suất, kích thước kết nối và vật liệu.
• Hỗ trợ yêu cầu báo giá theo số lượng và cấu hình dự án.
• Trao đổi thông tin kỹ thuật để lựa chọn thiết bị phù hợp với hệ thống hiện hữu hoặc dự án mới.

Với hệ thống khí siêu tinh khiết, khách hàng nên chuẩn bị sơ đồ đường khí, loại khí sử dụng, áp suất đầu vào và đầu ra, lưu lượng cần thiết cùng yêu cầu an toàn để việc lựa chọn được chính xác hơn.

🧩 Phiên bản và mã sản phẩm

Hai nhóm sản phẩm được đề cập gồm:

1. Carten Controls VMBS – Valve Manifold Boxes: Hộp van phân phối khí được chế tạo theo yêu cầu, hỗ trợ giảm áp, chia tuyến, đo áp suất và ngắt an toàn.
2. Carten Controls SPDS/SPDSA – Diaphragm Valves: Van màng khí tinh khiết cao, có lựa chọn điều khiển bằng tay hoặc khí nén và nhiều cấu hình kết nối.

Trang sản phẩm VMBS mô tả một nhóm cụm thiết bị được thiết kế theo yêu cầu dự án; trang SPDS/SPDSA mô tả dòng van với nhiều kích thước và cấu hình. Vì vậy, cần xác định mã van cụ thể và bản cấu hình VMBS trước khi đặt hàng.

❓ Câu hỏi thường gặp

1. VMBS của Carten Controls dùng để làm gì?

VMBS là hộp van phân phối khí dùng để giảm áp, chia tuyến khí công nghệ đến nhiều thiết bị và hỗ trợ bố trí điểm ngắt an toàn tập trung.

2. Van SPDS/SPDSA có thể dùng trong VMBS không?

Có. Carten Controls liệt kê hộp van phân phối khí VMB là một trong các ứng dụng điển hình của dòng van màng SPDS/SPDSA. Việc chọn phiên bản cần căn cứ vào thiết kế và yêu cầu vận hành.

3. Van SPDS/SPDSA có những phương thức điều khiển nào?

Dòng sản phẩm có lựa chọn điều khiển bằng tay hoặc khí nén. Các tùy chọn như cảm biến vị trí và điều khiển bằng van điện từ áp dụng cho cấu hình khí nén phù hợp.

4. Áp suất vận hành tối đa của VMBS và SPDS/SPDSA là bao nhiêu?

VMBS công bố áp suất vận hành tối đa 375 PSI. Với SPDS/SPDSA, mức tối đa được công bố là 375 PSI đối với phiên bản điều khiển bằng tay và 250 PSI đối với phiên bản khí nén. Cần kiểm tra giới hạn của toàn bộ cụm theo cấu hình thực tế.

5. Cần cung cấp thông tin gì để yêu cầu báo giá?

Nên cung cấp loại khí, áp suất đầu vào và đầu ra, lưu lượng, kích thước đường ống, số lượng nhánh, phương thức điều khiển, yêu cầu ngắt an toàn và bản vẽ bố trí nếu có.

📞 Liên hệ tư vấn và báo giá

Nếu doanh nghiệp đang tìm kiếm Carten Controls VMBS hoặc van màng SPDS/SPDSA, hãy liên hệ Ngọc Huy Dương để trao đổi yêu cầu kỹ thuật và lựa chọn cấu hình phù hợp.

🌐 Website: www.ngochuyduong.com
☎️ Điện thoại: 0909 399 174
✉️ Email: thach.phan@ngochuyduong.com